大国智能制造 第七百二十七章 问题到底出在哪里 【求订阅】
作者:乌溪小道的小说      更新:2021-02-09

  “老万,你怎么看?”许振鸣却没直接回答郝宁教授,反而站起身来问万宁古。

  万宁古此时正用一块碎布擦着手上的污渍,脸上的露出犹豫不决的表情。

  他有点相信梁宋松的判断,认为没有必要再做两遍激光光路系统的测试。但这种连续做三遍激光能量测试的计划是原先预定好的,现在立即推翻的确有些过分。

  更何况郝宁教授是团队里精通光学的专家,制定的计划肯定科学。他们这些外行人怎么能随便瞎指挥。

  想到这里,他朝许振鸣苦笑道:“许董,我认为郝宁教授是专业人士,制定的计划应该非常专业,咱们还是按照预定好的计划来执行。”

  “好!我跟你的意见一致,专业的事情应该交给专业的人去处理。”许振鸣笑道,顺手接过万古宁递来的碎布团。他一锤定音,解决了郝宁团队和梁宋松的意见分歧。

  事实上,按照许振鸣的想法,他本来不便参与这种高精技术项目的决策。但郝宁教授现在要做的是重复两次测试,顶多浪费一些时间和钞票。许振鸣承受的起,一鸣集团也不缺这点资源。

  更何况,郝宁教授应该不会无的放矢,有自己专业技术方面的考虑才是。

  一念至此,许振鸣朝郝宁教授一挥手,“郝教授,你们团队的测试流程都要按照预定好计划来执行,不要怕花钱,我们集团公司做项目是不怕花钱的。”

  “好的许董。”郝宁教授微笑着点点头,开始忙碌起来。

  而作为项目小组的负责人,梁宋松此时有点尴尬,心里更是很难受,“这帮土包子不听老人言,吃亏就在眼前呐。”

  梁宋松没说话,站在那里一会儿看看郝宁教授团队的操作情况,一会儿又看看万宁古这帮人的测试流程。

  这时。

  万宁古的团队成员们已经把光刻机主机系统接上各种测试仪器,要立即再次检测这台主机系统的重复精度、运动精度、震动量数据、功率输出数据、运行过程中的功率变化数据、电磁杂波数据等等。

  这套实验测试流程,也是刚才再三讨论过的检测技术方案。主要目的还是要看一看这台国产光刻机主机系统的各项数据,跟以前的测试报告有没有发生变化。

  倘若没有发生变化,那就有点麻烦喽!

  作为一鸣集团公司的重点项目,这台国产光刻机的主机系统总装调试完成以后,其实已经测试过很多次。倘若数据不过关,项目负责人胡明镇是不会立即做光刻机总调试验的。

  但今天上午的光刻试验中出现光刻质量缺陷,这台设备若没出现问题,逻辑上怎么也解释不清楚。

  带着这种疑问,万宁古陪着许振鸣来到光刻机主机系统检测调试工作站的旁边,两眼一直盯着工作站的监视器屏幕。

  时间不久,他担心的事情出现了……

  当这台光刻机主机系统完成一次模拟光刻执行程序以后,监视器显示的各项数据都很正常,精度误差都在许可的范围之内。

  “报告许董,主机系统重复精度小于0.001毫米,数据正常。”

  “报告万总,主机系统的震动量误差都在量级以内,不会对光刻程序造成影响。”

  “报告万总,主机系统的功率输出一直都非常稳定,模拟光刻过程中没有出现波动现象。”

  “这台设备的电磁杂波强度都在量级要求范围之内,没有出现异常情况。”

  “……”

  技术员们非常专注,每出现一个数据就会把情况如实汇报。

  通过他们一番比对下来,这台光刻机主体系统的数据和原始测试数据没发生变化。这事有点蹊跷了!

  另一边,郝宁教授的团队已经完成了激光光源的能量测试流程,一切也正常。

  不但如此,他们已经完成了第一遍激光光源的光谱测试,激光在空气中的散光度误差很小,在正常范围之内。

  由此看来,米国佬的这台激光光源系统没有质量问题,性能非常稳定。

  看到这一幕,梁宋松也有点傻眼了,“两套系统单体测试都很正常,组装总成以后出现质量缺陷。这是什么鬼情况?”

  “这…这事有点邪门啊!”万宁古此时也有点懵,两手一摊,看着许振鸣苦笑,并且直摇头。

  今天中午饭的时候,他得到梁宋松的提醒,灵感咋现,其实已经初步判断出这台光刻机的故障所在。按照他的设想,米国产的激光光路系统肯定没问题,国产的光刻机主体系统肯定有问题。

  但现在一番检测下来,这两台设备的情况都很正常,问题到底在哪里?

  “两台设备单体都正常,组装在一起就不正常。在组装的时候,我们做过哪些改动程序?”

  这时,许振鸣慢慢的蹲下身子,目光落在光刻机主体系统的接驳机构处。他的意思很明确,就是这个接驳机构出了问题。

  “想想也是,我觉得应该是两台设备的接驳组装机构出了故障。”郝宁教授朝许振鸣这边看了过来,说出自己的猜想。

  “不可能!我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的,加工精度能保证。”万宁古一边说话,一边也跟着半蹲了下来。

  这时候,梁宋松有点懵懵的。出于自信,他随口就否定了万宁古的判断,“怎么不可能?我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右,加工精度怎么能保障?依我看,就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”

  “咱们不能随便乱说,要用实验数据来说话。”万宁古不认输,用手指摸了摸主机系统的接驳机构,感受一下接驳机构的加工面。

  这组接驳机构的加工面非常光滑,曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。

  所以,许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下,然后侧过脸来问万宁古:“老万,咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验?”

  万宁古闻言摇摇头,“光刻机是精密设备,两套系统一定要组装在一起工作才行。否则,光刻流片的精度无法保障。”

  按照他的意思,土办法是解决不了目前的测试困境,这事有点难办了。